반도체 칩은 정보기술의 핵심 초석이자 각국이 경쟁적으로 발전시키고 있는 중요한 신기술이자 산업이다.웨이퍼, 반도체 칩 제조의 기초 재료로서 중국의 반도체 산업 발전에 매우 중요한 역할을합니다.웨이퍼 제조능력 면에서 중국은 이미 세계 1위를 차지했지만, 글로벌 '칩 부족'이 심화되면서 생산능력 확대에 더욱 박차를 가할 것이다.
1. 프로젝트 배경
국내 반도체 산업 상장 그룹의 자회사로서 국가 전자 정보 소재 산업의 선두 주자로 반도체 소재, 전자 전문 소재, 반도체 장치 및 기타 기술의 연구 개발 및 제조에 전념하고 있습니다.주요 제품은 반도체 존 멜팅 단결정 실리콘 웨이퍼로 세계 3대 종합 강점과 국내 시장 점유율80% 이상.
용량 확장을 가속화하기 위해 회사는 장쑤성 Yixing시에 집적 회로용 대구경 실리콘 웨이퍼 생산 및 제조 프로젝트 건설을 시작하기 위해 약 30억 달러를 투자했습니다.프로젝트의 두 번째 단계는 2021년에 시작되어 "Industry 4.0"의 고급 개념을 고수하고 작업장의 자동화, 정보화 및 지능형 건설을 달성하기 위해 전체 라인에 지능형 제조를 사용할 계획입니다.완공 후 총 생산 능력은 월 8인치 에피택셜 웨이퍼 220,000장, 12인치 연마 웨이퍼 200,000장, 12인치 에피택셜 웨이퍼 150,000장으로 세계적으로 유리한 실리콘 웨이퍼 생산 기지가 될 것입니다.따라서 그룹의 지능형 창고 측면에서,ROBOTECH은 첨단 지능형 창고 시스템을 구현하여 생산 기반의 지능화, 정보화 및 자동화 수준을 향상시켰습니다..
2. 프로젝트p랜닝
ROBOTECH은 생산기지의 6m 수직 공간을 최대한 활용하여4레인 박스형 자동창고총 이상을 수용할 수 있는 반도체 웨이퍼 제품 접근을 위해2000개의 저장 공간, 웨이퍼의 저장 용량을 효과적으로 증가.웨이퍼가 시트 형태이기 때문에 캐리어는 최대 50kg의 하중으로 웨이퍼에 쉽게 접근할 수 있도록 특수 맞춤형 330 * 330 * 300 투명 플라스틱 용기를 채택합니다.기존 창고의 복잡한 웨이퍼 보관 공정 문제와 제한된 공간 활용 문제를 해결하여 공간 활용과 효율성의 이중 개선을 달성했습니다.
• Zebra 시리즈 스태커 크레인 시스템
• 100m/min 및 24시간 생산 리듬 및 주기당 63P/h
효율적인 운영 측면에서 ROBOTECH은 다음을 선택합니다.얼룩말 시리즈 스태커두루미체계수평 속도가100m/분, 충족24시간 생산 리듬생산 기지의 저장 효율성은 도달할 수 있습니다주기당 63P/h.
3. 두려움 없는 도전, 맞춤형 혁신
•E먼지 및 충격 저항 보장
•비표준 사용자 정의
•U초음파 센서 장치
•T캐리어는 선반과 포크에 5도 각도로 놓입니다.
도전 1
반도체 웨이퍼의 저장 특성은먼지 및 충격 방지 보장, 그렇지 않으면 깨지기 쉬운 웨이퍼에 손상을 입히기 쉽습니다.이를 바탕으로 로보텍은 스태커 크레인의 기계적 구조를비표준 사용자 정의.예를 들어, 기존 레일 대신 알루미늄 합금 접지 레일을 사용하고, 강철 기둥 대신 고강도 냉간 압연 알루미늄 합금 기둥을 사용하고, 강철 휠 대신 고무로 덮인 바퀴를 사용하고, 강철 와이어 로프 리프팅 대신 타이밍 벨트 리프팅을 사용합니다. , 방진 커버가 화물 플랫폼에 추가됩니다.장비 설계 초기 단계부터 먼지와 진동이 상품에 미치는 영향을 최소화하고 무진 작업장의 오염 위험을 줄였으며,그리고 수율이 향상되었습니다.청정도 수준은 Class 1000의 환경 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
도전 2
웨이퍼 캐리어의 투명 플라스틱 상자로 인해 기존 광전 센서는 화물 감지에 사용할 수 없습니다.ROBOTECH이 혁신적으로 설계한초음파 센서 장치선반과 팔레트에 있는 상품의 상태를 자동으로 감지할 수 있는 화물 감지용.또한 카메라와 모바일 수동 조작 화면이 장착되어 전체 공정에 걸쳐 모든 재료를 정확하게 시각화하고 추적할 수 있으며 보다 편리한 방식으로 문제를 해결하고 문제를 해결할 수 있습니다.
도전3
웨이퍼가 캐리어에서 미끄러지는 것을 방지하기 위해,캐리어는 선반과 포크에 5도 각도로 놓입니다..고정밀 포지셔닝과 안정적인 포킹은 보관을 위해 항공 화물 플랫폼을 쌓기 위한 특수 도구의 3개의 포지셔닝 핀에 웨이퍼 상자의 하단 슬롯을 삽입하여 달성됩니다.반복 테스트 후 최종 포지셔닝 정확도 도달±2mm, 분기 부드러움에 도달99.99%.또한 장비는 다양한 연동 장치를 채택하여 전반적인 성능을 효과적으로 향상시킵니다.안정성 및 안전 계수.
자동창고 솔루션 전문기업 로보텍은 지능형 물류 솔루션을 구축했습니다.첨단 장비와 종합적인 시스템을 기반으로 실시간 추적 가능한 무공해 웨이퍼 소재
이 프로젝트 마크의 성공적인 구현반도체 웨이퍼 자동화 스토리지의 효과적인 혁신, 또한 다음을 의미합니다.로보텍, 반도체 분야 정식 진출, 지능형 물류 자동화 솔루션으로 반도체 기업의 역량을 강화합니다.앞으로도 ROBOTECH는 산업 지식을 탐색하고 축적하며 자원 활용을 개선하고 전반적인 효율성 향상을 달성할 것입니다.
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게시 시간: 2023년 4월 11일
