Les puces à semi-conducteurs sont la pierre angulaire de la technologie de l'information et une technologie et une industrie émergentes importantes que les pays sont en concurrence pour développer.Tranche, en tant que matériau fondamental pour la fabrication de puces semi-conductrices, joue un rôle très important dans le développement de l'industrie chinoise des semi-conducteurs.En termes de capacité de fabrication de plaquettes, la Chine a déjà pris la tête du monde, mais à mesure que la "pénurie de puces" mondiale s'intensifie, elle accélérera encore l'expansion des capacités.
1. Contexte du projet
Une filiale d'un groupe coté de l'industrie nationale des semi-conducteurs, en tant qu'acteur de premier plan dans l'industrie nationale des matériaux d'information électroniques, s'engage dans la recherche et le développement, la fabrication de matériaux semi-conducteurs, de matériaux électroniques spécialisés, de dispositifs semi-conducteurs et d'autres technologies.Le produit principal est une plaquette de silicium monocristallin à fusion de zone semi-conductrice, avec une force globale parmi les trois premières mondiales et une part de marché domestique deplus de 80%.
Afin d'accélérer l'expansion de sa capacité, la société a investi environ 3 milliards de dollars pour lancer la construction d'un projet de production et de fabrication de plaquettes de silicium de grand diamètre pour les circuits intégrés dans la ville de Yixing, province du Jiangsu.La deuxième phase du projet a été lancée en 2021, adhérant au concept avancé d'"Industrie 4.0" et prévoyant d'utiliser la fabrication intelligente sur toute la ligne pour réaliser l'automatisation, l'informatisation et la construction intelligente de l'atelier.Après l'achèvement, la capacité de production totale sera de 220 000 tranches épitaxiales de 8 pouces, 200 000 tranches polies de 12 pouces et 150 000 tranches épitaxiales de 12 pouces par mois, devenant ainsi une base de production de tranches de silicium avec des avantages mondiaux.Ainsi, en termes d'entreposage intelligent du groupe,ROBOTECH a amélioré le niveau d'intelligence, d'informatisation et d'automatisation de sa base de production en mettant en œuvre des systèmes d'entreposage intelligents avancés.
2. Projetplanning
ROBOTECH a pleinement utilisé l'espace vertical de 6 m de sa base de production et a prévu unEntrepôt automatisé de type caisse à 4 voiespour accéder aux produits de plaquettes semi-conductrices, qui peuvent accueillir un total de plus de2000 espaces de stockage, augmentant efficacement la capacité de stockage des plaquettes.La plaquette étant sous forme de feuille, son support adopte un conteneur en plastique transparent 330 * 330 * 300 spécialement personnalisé pour un accès facile à la plaquette, avec une charge maximale de 50 kg.Résolution du problème des processus complexes de stockage de plaquettes et de l'utilisation limitée de l'espace dans les entrepôts traditionnels, réalisant une double amélioration de l'utilisation de l'espace et de l'efficacité.
• Système de transstockeur série Zebra
• 100m/min & rythme de production 24h/24 & 63P/h par cycle
En termes d'efficacité de fonctionnement, ROBOTECH sélectionne legerbeur de la série zebragruesystèmepour un flux de matière hautement dynamique, avec une vitesse horizontale de100 m/min, qui répond auxRythme de production 24h/24de la base de production, et l'efficacité de stockage peut atteindre63P/h par cycle.
3. Intrépide des défis, innovation personnalisée
•Eassurer la résistance à la poussière et aux chocs
•Personnalisation non standard
•Udispositif de capteur à ultrasons
•Tle support est placé à un angle de 5 degrés sur les étagères et les fourches
Défi 1
Les caractéristiques de stockage des plaquettes semi-conductrices sont deassurer la résistance à la poussière et aux chocs, sinon il est facile d'endommager les tranches fragiles.Sur cette base, ROBOTECH a amélioré la structure mécanique du transstockeur pourpersonnalisation non standard.Par exemple, des rails au sol en alliage d'aluminium sont utilisés à la place des rails conventionnels, des colonnes en alliage d'aluminium étiré à froid à haute résistance sont utilisées à la place des colonnes en acier, des roues recouvertes de caoutchouc sont utilisées à la place des roues en acier, le levage par courroie de distribution est utilisé à la place du levage par câble en acier , et des couvercles anti-poussière sont ajoutés à la plate-forme de chargement.Dès le début de la conception des équipements, l'impact de la poussière et des vibrations sur les marchandises a été minimisé, le risque de pollution dans l'atelier sans poussière a été réduit,et le rendement a été amélioré.Le niveau de propreté peut répondre aux exigences environnementales de la classe 1000.
Défi 2
En raison de la boîte en plastique transparente du support de plaquette, les capteurs photoélectriques conventionnels ne peuvent pas être utilisés pour la détection de cargaison.ROBOTECH a conçu de manière innovante undispositif de détection à ultrasonspour la détection de cargaison, qui peut détecter automatiquement l'état des marchandises sur les étagères et les palettes.Et il est équipé d'une caméra et d'un écran de fonctionnement manuel mobile pour obtenir une visualisation et une traçabilité précises de tous les matériaux tout au long du processus, tout en dépannant et en résolvant les défauts de manière plus pratique.
Défi3
Pour éviter que la plaquette ne glisse du support,le support est placé à un angle de 5 degrés sur les étagères et les fourches.Le positionnement de haute précision et la fourche stable sont obtenus en insérant la fente inférieure de la boîte à plaquettes dans les trois broches de positionnement de l'outil spécial pour empiler la plate-forme de fret aéroportée pour le stockage.Après des tests répétés, la précision de positionnement finale a atteint± 2mm, et la douceur de bifurcation atteint99,99 %.De plus, l'équipement adopte divers dispositifs de verrouillage, améliorant efficacement l'ensemblefacteur de stabilité et de sécurité.
En tant qu'expert en solutions d'entreposage automatisé, ROBOTECH a construit des solutions logistiques intelligentespour des matériaux de plaquette non polluants et traçables en temps réel, basés sur des équipements de pointe et des systèmes complets.
La mise en œuvre réussie de ce projet marqueune percée efficace dans le stockage automatisé des plaquettes semi-conductrices, et signifie également queROBOTECH entrera officiellement dans le domaine des semi-conducteurs, dotant les entreprises de semi-conducteurs de solutions d'automatisation logistique intelligentes.À l'avenir, ROBOTECH continuera d'explorer, d'accumuler des connaissances de l'industrie, d'améliorer l'utilisation des ressources et d'améliorer l'efficacité globale.
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Heure de publication : 11 avril 2023
